JS—3型精缩照相机一次定位方案

前言分步重复精缩照相机在近二十年左右的发展过程中,虽然主体结构没有太大差异,但是由于激光干涉测量法和莫尔条纹测量法的采用,而淘汰了靠丝杠精度来实现的定位方式。加之驱动系统和电控功能的完善,使其定位精度从几个微米,一跃进入零点几个微米。在激光干涉测置法和莫尔条纹测量法,进入相互媲美的阶段,很难全面地评价那一种优越,不过在使用环境适应性方面,条莫尔纹测量法的占先,确是显而易见的,至少国内情况是这样。