| 电子背散射衍射技术及其应用 |
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| 引用本文： | 张寿禄. 电子背散射衍射技术及其应用[J]. 电子显微学报, 2002, 21(5): 703-704 |
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| 作者姓名： | 张寿禄 |
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| 作者单位： | 太原钢铁集团有限公司钢铁研究所,山西,太原,030003 |
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| 摘 要： | 电子背散射衍射 (ｅｌｅｃｔｒｏｎｂａｃｋｓｃａｔｔｅｒｅｄｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ ,ＥＢＳＤ) ,是开始于 2 0世纪 90年代初的一项应用于扫描电子显微镜 (ＳＥＭ)的新技术。此技术实现了在块状样品上观察显微组织形貌的同时进行晶体学数据的分析 ,改变了传统的显微组织和晶体学分析是两个分支的研究方法。它大大地拓展了ＳＥＭ的应用范围 ,目前已经变成了类似于Ｘ射线能谱仪 (ＥＤＳ)的ＳＥＭ的一个标准附件。1 ＥＢＳＤ的理论基础1 1 电子背散射衍射花样 (ＥＢＳＰ)的形成电子背散射衍射花样 (ｅｌｅｃｔｒｏｎｂａｃｋｓｃａｔｔｅ…
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| 关 键 词： | 电子背散射衍射技术 EBSD 扫描电子显微镜 显微组织 晶体学分析 SEM |
Electron backscattered diffraction technology and application |
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