内部水汽对半导体器件可靠性影响的研究 |
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引用本文: | 徐爱斌.内部水汽对半导体器件可靠性影响的研究[J].电子产品可靠性与环境试验,1994(2):49-54. |
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作者姓名: | 徐爱斌 |
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作者单位: | 电子部第五研究所 |
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摘 要: | 由于各种原因,国内对器件内腔水汽的危害还没给予充分重视和有效控制,器件内部水汽含量较高,使之在环境温度低于封装内水汽露点温度的条件下工作与贮存时容易发生失效,对器件可靠性直接造成威胁,是个急待解决的问题。本研究目的在于了解国产军用密封半导体器件内部水汽现状及其对可靠性的影响,探讨揭示内部水汽问题的有效试验方法,寻求降低水汽影响,提高器件可靠性的主要途径。
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关 键 词: | 半导体器件 可靠性 内部水汽 水汽 |
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