| 316L不锈钢基体上反应溅射添加YOx粘接层的Y2O3/Er2O3复合涂层的研究 |
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| 引用本文： | 刘军,吕维玲,曹江利. 316L不锈钢基体上反应溅射添加YOx粘接层的Y2O3/Er2O3复合涂层的研究[J]. 真空, 2012, 49(6) |
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| 作者姓名： | 刘军 吕维玲 曹江利 |
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| 作者单位： | 北京科技大学新材料技术研究院,北京,100083 |
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| 基金项目： | 科技部ITER计划专项2009年度国内配套研究课题《阻氚渗透涂层技术研究》[2009GB109005]资助 |
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| 摘 要： | 为了研究添加粘接层对复合涂层的影响,采用脉冲反应溅射在316L不锈钢基体上制备了调制周期为700 nm左右(5层)的Y2O3/Er2O3复合涂层,通过调整氧氩比制备了不饱和氧化钇(YOx,x＜1.5)作为粘接层,研究了添加粘接层对复合涂层相组成、组织形貌以及涂层与基底结合情况的影响.X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、结合力及纳米硬度分析结果表明,当氧分压为0.036 Pa制备YO1.401粘接层时,Y2O3/Er2O3/YOx涂层的结合力相比于Y2O3/Er2O3复合涂层,涂层与基体的结合力增大了约60％,纳米硬度增大了近30％,绝缘电阻率测试结果表明,Y2O3/Er2O3/YOx涂层绝缘电阻率在1×109Ω·cm～1×1011Ω ·cm,绝缘性能良好.
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| 关 键 词： | 氧化钇涂层 粘接层 反应溅射 结合力 纳米硬度 |
Reactive sputtering deposition of Y2O3/Er2O3 composite coatings with YOx adhesion layer on 316L stainless steels |
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| LIU Jun , LV Wei-ling , CAO Jiang-li. Reactive sputtering deposition of Y2O3/Er2O3 composite coatings with YOx adhesion layer on 316L stainless steels[J]. Vacuum(China), 2012, 49(6) |
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| Authors: | LIU Jun LV Wei-ling CAO Jiang-li |
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