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| 纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用 | |
| 引用本文： | 张泰华.纳米硬度计在MEMS力学检测中的应用[J].微纳电子技术,2003(Z1). |
| 作者姓名： | 张泰华 |
| 作者单位： | 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室 北京100080 |
| 摘 要： | 纳米硬度计是一种能提供 10 3～ 10 2 μm尺度材料或结构微力学性能检测的先进仪器。采用纳米压痕技术 ,研究薄膜材料的弹性模量和硬度随压痕深度的变化规律以及薄膜厚度测量、微桥弯曲变形测量的方法。采用纳米划痕技术 ,研究薄膜的表面粗糙度、临界附着力和摩擦系数测量的方法。该仪器能广泛应用于MEMS的力学检测 ,并有望成为这一领域内的标准力学检测设备 |
| 关 键 词： | 纳米硬度计 微机电系统 力学检测 |
Nanoindentation applying to mechanical measurement for MEMS |
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