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sol-gel法制备纳米碳化硅晶须的研究
作者姓名:张洪涛  徐重阳
作者单位:1. 华中理工大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;湖北工学院电气工程与计算机科学系,湖北,武汉,430074
2. 华中理工大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074
摘    要:采用长链甲基三甲氧基硅烷〔Cn H2 n+ 1 Si(OCH3)〕和正硅酸乙酯 (TEOS)两种有机物为起始原料 ,用溶胶 -凝胶法通过合理控制反应条件 ,制备出β- Si C凝胶粉体 ,然后在 Ar气氛、 90 0~ 130 0℃下热处理 ,制备出了高纯、低氧含量 ,直径 2~ 10 nm,长度 40~ 80 nm的β- Si C纳米晶须。产物纯度达到 99.92 %。利用 X射线粉晶衍射、透射电镜 (TEM)、拉曼光谱等测试方法对制得的晶须进行了结构及颗粒尺寸等研究。讨论了反应条件对β- Si C纳米晶须生长的影响

关 键 词:纳米晶须  碳化硅  溶胶-凝胶法
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