| 微透镜阵列的加工技术研究 |
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| 引用本文： | 陈祥献. 微透镜阵列的加工技术研究[J]. 浙江大学学报(工学版), 1998, 32(3): 286-291 |
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| 作者姓名： | 陈祥献 |
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| 作者单位： | 浙江大学高技术现代光学中心 |
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| 摘 要： | 我们运用紫外光刻及热熔成形的方法，制作 了２０ｍｍ＊２０ｍｍ的折射型微透镜阵列，单元微透镜相对口径为Ｆ／２单元透镜直径９０μｍ，中心间隔１００μｍ。
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| 关 键 词： | 微透镜阵列 微光学 光刻胶 电铸 |
The research of fabricating microlens array |
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| Chen Xiangxian Yang Guoguang Chen Hongmiu Hou Xiyun Xu Qiao. The research of fabricating microlens array[J]. Journal of Zhejiang University(Engineering Science), 1998, 32(3): 286-291 |
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| Authors: | Chen Xiangxian Yang Guoguang Chen Hongmiu Hou Xiyun Xu Qiao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | microlens micro optics photoresist electroforming plastics casting copying |
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