| 溶胶-凝胶法制备ITO透明导电薄膜的研究进展 |
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| 引用本文： | 李芝华,任冬燕.溶胶-凝胶法制备ITO透明导电薄膜的研究进展[J].材料导报,2005,19(5):4-6,10. |
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| 作者姓名： | 李芝华 任冬燕 |
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| 作者单位： | 中南大学材料科学与工程学院,长沙,410083;中南大学材料科学与工程学院,长沙,410083 |
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| 摘 要： | ITO透明导电薄膜以其优良的透明导电性能在平面液晶显示(LCD)、电致发光(EC)等多个领域得到了广泛的应用.制备ITO薄膜的方法很多,其中采用溶胶-凝胶法制备ITO透明导电薄膜具有成本低,设备简单,工艺可控,有利于大面积成膜等优点,因而受到了广泛的关注.较详尽地介绍了ITO薄膜的透明导电机理、溶胶-凝胶法的工艺特征,并初步论述了溶胶-凝胶法制备ITO透明导电薄膜的应用和发展前景.
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| 关 键 词： | ITO 溶胶-凝胶 透明 导电 |
Research Review of Using Sol-gel Process to Fabricate ITO Film |
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| LI Zhihua,REN Dongyan.Research Review of Using Sol-gel Process to Fabricate ITO Film[J].Materials Review,2005,19(5):4-6,10. |
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| Authors: | LI Zhihua REN Dongyan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ITO |
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