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中短波HgCdTe金属接触的退火研究
引用本文:李海滨,林春,胡晓宁,何力.中短波HgCdTe金属接触的退火研究[J].激光与红外,2011,41(4):542-547.
作者姓名:李海滨  林春  胡晓宁  何力
作者单位:中国科学院红外成像材料和器件重点实验室,中国科学院上海技术物理所,上海 200083;中国科学院研究生院,北京 100039
摘    要:为制备良好的碲镉汞金属接触,研究了热退火处理对中短波Hg空位掺杂碲镉汞金属接触的影响。对中短波HgCdTe-Sn/Au接触及中波HgCdTe-Cr/Au接触经不同条件退火后的接触进行了测量。对于短波碲镉汞,p型HgCdTe-Sn/Au接触经95 ℃,30 min退火可降低比接触电阻2个量级,而经125 ℃,30 min退火可降低3个量级;离子注入的n型HgCdTe-Sn/Au接触则容易形成欧姆接触。对于中波碲镉汞,退火前p型HgCdTe-Sn/Au接触平均比接触电阻为10-1 Ωcm2量级,经适当条件退火可以降低3个量级;此外,Sn/Au比Cr/Au更适合作为中波HgCdTe的接触金属。因而HgCdTe金属接触可通过一定退火处理得到改善。

关 键 词:碲镉汞  MS接触  退火  欧姆接触

Thermal annealing of HgCdTe and metal contact
LI Hai-bin,LIN Chun,HU Xiao-ning,HE Li.Thermal annealing of HgCdTe and metal contact[J].Laser & Infrared,2011,41(4):542-547.
Authors:LI Hai-bin  LIN Chun  HU Xiao-ning  HE Li
Abstract:Based on the coupled mode theory,the electromagnetic fields in core and cladding of long-period fiber grating are analyzed using Debye potential method.The vector expression of the field components in the core and the cladding are obtained.After solving the effective refractive index and the coupling constants of the core and cladding modes,transmission spectrum is got through solving the couped mode equation by numerical integration method.The integral method is an accurate method for solving transmission spectrum.The research provides theoretical foundation for optimization and high sensitive measurement in the fields of optic fiber communications and sensors.
Keywords:HgCdTe  MS contact  annealing  Ohmic contact
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