微机电压力传感器的产业化问题

微机电压力传感器在国外早已实现产业化。国内只有少数企业能够进行小批量生产。工业用的产品大部分依靠进口，或者引进国外芯片和敏感元件进行组装。本文叙述了在微机电压力传感器产业化方面存在的技术和工艺问题，并对产业规模问题进行了探讨。