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基于有限元方法氟塑料卡盘设计分析
作者姓名:王迪  陈仲武  刘建民  高津平
作者单位:中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,101601;中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,101601;中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,101601;中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,101601
摘    要:

关 键 词:硫酸与双氧水混合溶液  氟塑料卡盘  形变  结构优化  热力耦合
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