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| 类金刚石红外增透膜、保护膜镀制技术 | |
| 引用本文： | 苗静.类金刚石红外增透膜、保护膜镀制技术[J].西安工业大学学报,2008,28(5). |
| 作者姓名： | 苗静 |
| 摘 要： | 该技术是由西安工业大学研究开发，利用物理气相沉积法实现薄膜镀制，与化学气相沉积法相比具有膜层性能稳定、在3．4um无吸收峰、方法简单且能在大面积基片上镀膜的优点．现可用于镀制类金刚膜、氮化钛、碳化钛、钼、钨、等膜，这些膜在光学、电子、表面改性、润滑、装饰等领域有广泛应用． |
| 关 键 词： | 红外增透膜 类金刚石 镀制技术 保护膜 物理气相沉积法 化学气相沉积法 研究开发 |
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