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| 一种实时掺氦生长P型氧化锌晶体薄膜的方法 | |
| 摘 要： | 本发明公开的实时掺氮生长P型氧化锌晶体薄膜的方法，是在金属有机化学汽相沉积过程中利用活化裂化高纯氮源气体产生氮原子进行实时掺氮的。步骤如下：先将衬底表面清洗后放入金属有机化学汽相沉积生长室中，生长室真空度抽到至少10^-4Pa，然后加热衬底，使衬底温度为350—950℃，将高纯氧源和用高纯载气将高纯有机锌源输入生长室中在衬底上生长氧化锌薄膜，高纯氧源和高纯有机锌源的摩尔流量分别为5～100000μmol／min和0．1～1000μmol／min，同时将用原子发生器活化裂化高纯氮源气体分离出的氮原子输入生长室， |
| 关 键 词： | 氧化锌薄膜 晶体薄膜 金属有机化学汽相沉积 生长 实时 P型 衬底温度 有机锌源 |
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