一种镀非晶金刚石膜的工艺

本发明涉及一种用碳离子轰击作为镀非晶金刚石膜的镀前处理方法。该方法包括以下步骤：1）清洗零件表面；2）将零件装入镀膜机的真空室中，抽真空达到1×10^-2～1×10^-5Pa；3）用固体离子源泉对零件镀膜表面作碳离子轰击处理；4）离子束加速偏压电源转换，由高压电源转换到低压电源；5）镀非晶金刚石膜，达到要求膜厚；6）放气；7）取出零件包装。本发明故障率低、轰击均匀、轰击面积大、镀膜生产率高且镀膜设备成本低。