| 用于MEMS传感器的三阶∑-△调制器设计 |
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| 引用本文： | 苏小波,柴旭朝,戴欢,顾晓峰,于宗光.用于MEMS传感器的三阶∑-△调制器设计[J].微电子学,2010,40(5). |
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| 作者姓名： | 苏小波 柴旭朝 戴欢 顾晓峰 于宗光 |
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| 基金项目： | 教育部新世纪优秀人才支持计划项目，教育部留学回国人员科研启动基金，江南大学自主科研计划资助项目 |
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| 摘 要： | 提出一种基于CIFB结构的新型三阶2-1级联∑-△调制器,设计了各级参数和数字校正电路,分析了积分器运算放大器的压摆率对信号带宽的影响;利用Matlab Simulink,对该调制器进行行为级仿真.在过采样率为128、输入信号带宽为50 kHz时,可达到93.8 dB的信噪比和15.30住的精度.该结构具有输入信号低失真的优点,可用于MEMS传感器的数据处理电路.
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| 关 键 词： | MEMS传感器 ∑-△调制器 CIFB |
Design of Third-Order Sigma-Delta Modulator for MEMS Sensors |
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| SU Xiaobo,CHAI Xuzhao,DAI Huan,GU Xiaofeng,YU Zongguang.Design of Third-Order Sigma-Delta Modulator for MEMS Sensors[J].Microelectronics,2010,40(5). |
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| Authors: | SU Xiaobo CHAI Xuzhao DAI Huan GU Xiaofeng YU Zongguang |
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