| 梯度掺杂结构GaN光电阴极表面的净化 |
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| 引用本文： | 李飙,徐源,常本康,杜晓睛,王晓晖,高频,张俊举.梯度掺杂结构GaN光电阴极表面的净化[J].中国激光,2011(4). |
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| 作者姓名： | 李飙 徐源 常本康 杜晓睛 王晓晖 高频 张俊举 |
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| 作者单位： | 南京理工大学电子工程与光电技术学院;重庆大学光电工程学院; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(60871012,60701013); 南京理工大学自主科研专项计划(2010ZYTS032)资助课题 |
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| 摘 要： | 对梯度掺杂结构GaN阴极表面进行了化学清洗,清洗后利用X射线光电子能谱仪(XPS)分析了阴极表面,分析表明化学清洗能有效去除阴极表面的油脂和加工中残存的无机附着物;然后在超高真空室内710℃下对阴极进行了高温退火清洁,去除化学清洗后残留在阴极表面的C、O等吸附物,使阴极表面达到制备高性能负电子亲和势(NEA)光电阴极所需的原子级清洁程度。最后通过阴极激活实验加以验证,结果证实化学处理后热退火方法能有效净化梯度掺杂结构GaN阴极表面。
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| 关 键 词： | 光电子学 表面净化 X射线光电子能谱仪 梯度掺杂 GaN光电阴极 激活 |
Cleaning of Gradient-Doping GaN Photocathode Surface |
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| Li Biao Xu Yuan Chang Benkang Du Xiaoqing Wang XiaohuiGao Pin Zhang JunjuInstitute of Electronic Engineering , Optoelectronic Technology,Nanjing University ofScience , Technology,Nanjing,Jiangsu ,ChinaCollege of Optoelectronic Engineering,Chongqing University,Chongqing ,China.Cleaning of Gradient-Doping GaN Photocathode Surface[J].Chinese Journal of Lasers,2011(4). |
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| Authors: | Li Biao Xu Yuan Chang Benkang Du Xiaoqing Wang XiaohuiGao Pin Zhang JunjuInstitute of Electronic Engineering Optoelectronic Technology Nanjing University ofScience Technology Nanjing Jiangsu ChinaCollege of Optoelectronic Engineering Chongqing University Chongqing China |
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| Affiliation: | Li Biao1 Xu Yuan1 Chang Benkang1 Du Xiaoqing2 Wang Xiaohui1Gao Pin1 Zhang Junju11Institute of Electronic Engineering and Optoelectronic Technology,Nanjing University ofScience and Technology,Nanjing,Jiangsu 210094,China2College of Optoelectronic Engineering,Chongqing University,Chongqing 400030,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optoelectronics surface cleaning X-ray photoelectron spectroscopy gradient-doping GaN photocathode activation |
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