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| 磁悬浮微进给机构研究 | |
| 引用本文： | 宋文荣,于国飞,王延风,何惠阳.磁悬浮微进给机构研究[J].中国机械工程,2003,14(13):1090-1093. |
| 作者姓名： | 宋文荣 于国飞 王延风 何惠阳 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春市,130022 2. 吉林大学,长春市,130025 3. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 基金项目： | 吉林省 2 0 0 2年度自然科学基金资助项目(2 0 0 2 0 62 1 )，2 0 0 2年度中国科学院研究生科学与社会实践资助专项创新研究类项目 |
| 摘 要： | 导轨副的摩擦和磨损影响机构的进给精度 ,摩擦产生的金属粉尘使微进给机构不能满足超洁净制作环境要求。磁悬浮技术应用于微进给机构 ,可消除摩擦。结合直线电机能实现零传动的特点 ,分别设计了磁悬浮轴承形式和磁悬浮导轨形式的两种微进给机构 ,分析了它们的特点 ,阐明了进一步改善的方向。理论分析计算该微进给机构在垂直及水平方向的误差可控制在± 1 μm内 ,在水平方向能实现亚微米级进给精度 |
| 关 键 词： | 磁悬浮 微进给机构 直线电机 超洁净 进给精度 |
| 文章编号： | 1004-132X(2003)13-1090-04 |
Research on Micro Feed Mechanism Based on Magnetic Levitation Technology |
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| Song Wenrong.Research on Micro Feed Mechanism Based on Magnetic Levitation Technology[J].China Mechanical Engineering,2003,14(13):1090-1093. | |
| Authors: | Song Wenrong |
| Abstract: | |
| Keywords: | magnetic levitation micro feed mechanism linear motor super cleanness feed accuracy |
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