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| 线性级联溅射的机理和主要结果 | |
| 作者姓名： | 黄良甫 |
| 作者单位： | 兰州物理研究所 |
| 摘 要： | 一、溅射的定义和分类荷能粒子轰击时固体表面被腐蚀的现象称为“溅射”。确切地说,不是粒子轰击靶表面的所有侵蚀现象都定义为溅射,高剂量或高能量粒子流轰击时,靶体宏观加热引起的材料蒸发和表面起泡引起的侵蚀,以及吸附在靶表面上的气体的轰击脱附,通常都不当作溅射。溅射的侵蚀作用主要是用“溅射产额”Y表征的,它定义为每个入射粒子溅射出来的平 |
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