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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
TEM原位光电双功能样品杆改造及电源系统优化设计
作者姓名:
张师斌
杨 力
韩海霞
董 辉
徐 峰
作者单位:
东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096
基金项目:
国家自然科学基金项目,中国博士后科学基金项目,中央高校基本科研业务费项目
摘 要:
为了研制用于透射电子显微镜(TEM)的光学和电学双功能原位测试样品杆,在理解国外进口电学原位样品杆电路和电极结构的基础上,引入微型LED芯片作为发光源对其进行光电双功能升级改造,并通过优化光电双功能基片供电电源系统以保障TEM清晰成像。测试结果表明,利用自制的基片供电电源,改造后的电学测试样品杆能同时测试样品的光学和电学特性,且透射电子显微镜成像清晰稳定。
关 键 词:
透射电子显微镜
原位样品杆
光电双功能基片
基片供电电源
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