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超高真空排气台微机控制系统的研制

作者姓名：	曹德福陈建华胡建英钱少青

作者单位：	上海冶金研究所(曹德福，陈建华，胡建英)，上海真空泵厂(钱少青)

摘要：	本文介绍了超高真空排气台微机控制系统的主要技术性能、硬件设计方案、系统的软件设计，并强调抗干扰的重要性及其所采取的措施等。
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