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| 一种精密自动定位器的研制 | |
| 作者姓名： | 徐振高 杨曙年 |
| 作者单位： | 华中理工大学 |
| 摘 要： | 精密自动定位器根据象散性原理研制而成。该定位器由非接触式光学传感头、移位控制驱动器以及精密执行机构三部分组成,已成功地用于非接触式纳米级光外差轮廓测量仪的调焦系统中,其定位精度可达±０．１μｍ。 |
| 关 键 词： | 自动定位器 象散性原理 非接触测量 闭环控制 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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