| 掺In纳米ZnO、CdS薄膜结构、光学特性分析 |
| |
| 引用本文： | 吉雅图,李健.掺In纳米ZnO、CdS薄膜结构、光学特性分析[J].真空科学与技术学报,2004,24(3):191-194. |
| |
| 作者姓名： | 吉雅图 李健 |
| |
| 作者单位： | 内蒙古大学理工学院物理系,呼和浩特,010021 |
| |
| 摘 要： | 采用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备纳米级ZnO和CdS薄膜.研究掺In和热处理对ZnO、CdS薄膜结构、光学特性的影响.实验给出,适当掺杂能够明显改善纳米ZnO、CdS薄膜的物相结构,ZnO薄膜的晶粒尺寸随掺杂含量的增加而减小,CdS薄膜晶粒尺寸随掺杂含量的增加而变大,但薄膜的光透射性有所降低.在短波范围内,ZnO薄膜的光透率好于CdS薄膜;在500 nm～1000 nm范围内,CdS薄膜的光透率好.掺In后ZnO薄膜的光学带宽从3.2eV减小至2.85 eV;掺In后CdS薄膜光学带宽从2.42 eV减小至2.35eV.
|
| 关 键 词： | 纳米 真空气相沉积 物相结构 光学特性 掺铟 ZnO薄膜 CdS薄膜 |
| 文章编号： | 1672-7126(2004)03-0191-04 |
| 修稿时间： | 2003年9月15日 |
Structures and Optical Properties of In-Doped ZnO and CdS Nanofilms |
| |
| Ji Yatu and Li Jian.Structures and Optical Properties of In-Doped ZnO and CdS Nanofilms[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2004,24(3):191-194. |
| |
| Authors: | Ji Yatu and Li Jian |
| |
| Affiliation: | Ji Yatu and Li Jian * |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Nanometer Vacuum vapor phase deposition Phase structure Optical properties In-doping ZnO films CdS films |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
