薄膜物相纵向分布的X—射线测定法

本文分析了样品倾斜X—射线衍射法(STD法)的原理。该法通过改变偏转角的大小来控制射线穿透深度,从而避免了测定膜层物相时基底材料的干扰,并可用来研究薄膜物相纵向分布的变化。文中还通过离子镀铝青铜膜的具体测定结果阐明了该技术的应用和特点。