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基于GaAs E/D PHEMT工艺的单片集成光接收芯片
引用本文:安亚宁,徐晨,解意洋,潘冠中,王秋华,董毅博.基于GaAs E/D PHEMT工艺的单片集成光接收芯片[J].半导体技术,2018,43(6):419-424.
作者姓名:安亚宁  徐晨  解意洋  潘冠中  王秋华  董毅博
作者单位:北京工业大学信息学部光电子技术教育部重点实验室,北京,100124;北京工业大学信息学部光电子技术教育部重点实验室,北京,100124;北京工业大学信息学部光电子技术教育部重点实验室,北京,100124;北京工业大学信息学部光电子技术教育部重点实验室,北京,100124;北京工业大学信息学部光电子技术教育部重点实验室,北京,100124;北京工业大学信息学部光电子技术教育部重点实验室,北京,100124
基金项目:北京市教委创新能力提升计划资助项目(PXM2016_ 014204_ 500034),北京市自然科学基金资助项目(4172009)
摘    要:设计并实现了一款适用于广电混合光纤同轴电缆网络(HFC)的高增益单片集成光接收芯片,该芯片主要包括跨阻放大器(TIA)、衰减器(VVA)和输出放大器三部分.跨阻放大器采用差分结构,相较于单端TIA提高了噪声性能,衰减器采用相位相消方式实现信号衰减,输出放大器为芯片补足增益并实现阻抗匹配.使用ADS仿真软件进行电路设计、版图设计、仿真验证,采用GaAs 0.25μm E/D PHEMT工艺进行了流片.测试结果表明,芯片实现了42 dB的最大增益,在0~3V控制电压下,0~28 dB的连续可调增益范围,工作频率为50 MHz~1 GHz,差分输入单端输出,输出负载为75 Ω,芯片面积1 412 μm×1 207 μm,芯片性能符合设计目标.

关 键 词:光接收芯片  GaAs  E/D  PHEMT工艺  单片集成电路(MIC)  跨阻放大器  衰减器

Monolithic Integrated Optical Receiver Chip Based on GaAs E/D PHEMT Technology
An Yaning,Xu Chen,Xie Yiyang,Pan Guanzhong,Wang Qiuhua,Dong Yibo.Monolithic Integrated Optical Receiver Chip Based on GaAs E/D PHEMT Technology[J].Semiconductor Technology,2018,43(6):419-424.
Authors:An Yaning  Xu Chen  Xie Yiyang  Pan Guanzhong  Wang Qiuhua  Dong Yibo
Abstract:
Keywords:
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