| 一种微型光纤光栅压力传感器 |
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| 引用本文： | 马彦华,刘倩,刘仪琳,徐琳,李丽君.一种微型光纤光栅压力传感器[J].半导体光电,2018,39(2):197-200. |
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| 作者姓名： | 马彦华 刘倩 刘仪琳 徐琳 李丽君 |
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| 作者单位： | 山东科技大学电子通信与物理学院,山东青岛,266590;山东科技大学电子通信与物理学院,山东青岛,266590;山东科技大学电子通信与物理学院,山东青岛,266590;山东科技大学电子通信与物理学院,山东青岛,266590;山东科技大学电子通信与物理学院,山东青岛,266590 |
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| 基金项目： | 中国博士后特别项目(200902574)，中国博士后面上项目(20080441150)，山东省自然基金项目(ZR2013FM019;ZR2009AM017)，山东省自然教育厅项目(J06P14)，山东省矿山灾害预防控制重点实验室-省部共建国家重点实验室培育基地开放基金项目(MDPC201602) |
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| 摘 要： | 设计并实现了一种新型光纤光栅压力传感器。该传感器以光纤布拉格光栅(FBG)为敏感元件,通过菱形钢结构,将压力转换为膜片横向应变,通过将光纤光栅粘于工形膜片中心轴线上,可将压力转换为光纤光栅轴向应变,通过解调光栅的中心波长漂移即可得到压力大小。传感器外壳采用圆柱体刚性封装,外高为13mm,直径为33mm。对设计的传感器进行了压力标定测试,得出传感器的线性拟合度为0.993 5,量程为0~0.234MPa,灵敏度为3.341nm/MPa。
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| 关 键 词： | 光纤布拉格光栅 压力传感器 工形膜片 有限元模拟仿真 |
| 收稿时间： | 2017/9/28 0:00:00 |
A Design of Miniature Fiber Bragg Grating Pressure Sensor |
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| MA Yanhua,LIU Qian,LIU Yilin,XU Lin,LI Lijun.A Design of Miniature Fiber Bragg Grating Pressure Sensor[J].Semiconductor Optoelectronics,2018,39(2):197-200. |
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| Authors: | MA Yanhua LIU Qian LIU Yilin XU Lin LI Lijun |
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| Affiliation: | (College of Electronic Communication and Phys. , Shandong University of Science and Technol. , Qingdao 266590, CH) |
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| Abstract: | A new type of micro-fiber Bragg grating pressure sensor was proposed and realized in this paper.Applying fiber Bragg grating (FBG) as the sensitive component,the pressure was converted to the diaphragm transverse strain through the steel diamond structure.By attaching the fiber grating to the center axis of the diaphragm,the pressure can be converted to the axial strain of the fiber grating,thus the pressure can be obtained by demodulating the center wavelength drift of the grating.The sensor shell is rigid encapsulated by a cylinder with a height of 13 mm and a cylindrical diameter of 33 mm.Through the pressure calibration test of the sensor,the linear fitting degree of the sensor is 0.9935,the range is 0～0.234 MPa,and the sensitivity is 3.341 nm/MPa. |
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| Keywords: | fiber Bragg grating pressure transducer quarter-flipped-H shape chip finite-element simulation |
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