| 使用AFM测量纳米尺度线宽的不确定度研究 |
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| 引用本文： | 褚巍,赵学增,王凌,肖增文,李洪波. 使用AFM测量纳米尺度线宽的不确定度研究[J]. 计量学报, 2005, 26(2): 120-124 |
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| 作者姓名： | 褚巍 赵学增 王凌 肖增文 李洪波 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | 哈尔滨工业大学校科研基金 |
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| 摘 要： | 针对Nanoscope Ⅲ型原子力显微镜，进行了纳米尺度线宽测量的不确定度分析。提出一个线宽测量的误差校正步骤，确定并分析了影响测量结果不确定度的4方面因素。根据实验和测量过程，分析和计算得到被测样品的线宽值、不确定度分量以及合成不确定度。
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| 关 键 词： | 计量学 纳米线宽 测量不确定度 原子力显微镜 |
| 文章编号： | 1000-1158(2005)02-0120-05 |
| 修稿时间： | 2004-02-23 |
Uncertainty in Nano- scale Linewidth Measurements Using Atomic Force Microscope |
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| CHU Wei,ZHAO Xue-zeng,WANG Ling,XIAO Zeng-wen,LI Hong-bo. Uncertainty in Nano- scale Linewidth Measurements Using Atomic Force Microscope[J]. Acta Metrologica Sinica, 2005, 26(2): 120-124 |
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| Authors: | CHU Wei ZHAO Xue-zeng WANG Ling XIAO Zeng-wen LI Hong-bo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Metrology Nano-scale linewidth Measurement uncertainty Atomic force microscope |
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