| 极紫外-真空紫外光学薄膜元件的研究进展 |
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| 引用本文： | 齐润泽,张锦龙,黄秋实,张众,王占山.极紫外-真空紫外光学薄膜元件的研究进展[J].光学精密工程,2022(21):2639-2654. |
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| 作者姓名： | 齐润泽 张锦龙 黄秋实 张众 王占山 |
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| 作者单位： | 同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所先进微结构材料教育部重点实验室上海市数字光学前沿科学研究基地上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（No.12003016）；;上海市教育委员会创新计划资助项目（No.2017-01-07-00-07-E00063）； |
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| 摘 要： | 极紫外-真空紫外高性能薄膜光学元件的发展对天文、材料、物理等学科具有重要意义。本文主要介绍了同济大学精密光学工程技术研究所在高性能极紫外-真空紫外薄膜光学元件的最新进展。展示了极紫外-真空紫外波段（10～200nm）用薄膜反射镜、薄膜单色器和薄膜起偏器的研究成果。为适应不同的使用需求和环境，开展薄膜内部微结构的综合表征及其物理化学机制的研究，形成了一套完备的极紫外-真空紫外薄膜光学元件表征、优化、制备技术体系，有效提升了均匀性、反射效率、带宽、稳定性和偏振度等薄膜元件核心性能。高性能的极紫外-真空紫外薄膜光学元件研制技术将为我国大型地面科学装置及空间天文观测设备提供强有力的支撑。
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| 关 键 词： | 极紫外-真空紫外 薄膜元件 均匀性 窄带宽 稳定性 高反射效率 |
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