| 基于LVDT的台阶信号拾取方法研究 |
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| 引用本文： | 白立芬,李庆祥,薛实福,于水.基于LVDT的台阶信号拾取方法研究[J].仪表技术与传感器,2000(7):37-38,46. |
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| 作者姓名： | 白立芬 李庆祥 薛实福 于水 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系,北京市,100084 |
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| 摘 要： | 大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的，其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿，合理地选择LVDT特性曲线的不同区域，以及正确设计传感器的安装角度等措施，有效地减小了零点残余电压的影响，并消除测量机构本身固有的二次项误差，提高了仪器的测量精度。实验表明，该仪器垂直方向测量分辨率可达0．5μm，重复测量精度为±0．015μm．
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| 关 键 词： | 台阶测量仪 集成电路 LVDT传感器 信号拾取方法 |
Signal Acquiring in Step Height Measurement with LVDT Transducer |
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| Bai Lifen,Li Qing,Xue Shifu,Yu Shui.Signal Acquiring in Step Height Measurement with LVDT Transducer[J].Instrument Technique and Sensor,2000(7):37-38,46. |
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| Authors: | Bai Lifen Li Qing Xue Shifu Yu Shui |
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| Affiliation: | Bai Lifen
,Li Qing
,Xue Shifu
,Yu Shui
(Tsinghua University, Beijing 100084) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Transducer Step Measurement Compensation |
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