LIGA技术在先进模具制造中的应用 |
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引用本文: | 伊福廷,张菊芳.LIGA技术在先进模具制造中的应用[J].塑料制造,2006(7):72-75. |
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作者姓名: | 伊福廷 张菊芳 |
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作者单位: | 中科院高能物理研究所同步辐射室,北京100049 |
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基金项目: | 本项目得到国家自然科学基金(项目批准号:50375150)支持. |
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摘 要: | LIGA技术自其发明和公开报道已有十几年的发展历史,已在世界各地发展起来,带动和激发了微机电系统——MEMS(Microelectromechanical System)加工热潮。经过十几年的努力,LIGA技术日已成熟,在很多领域内得到了应用。LIGA技术以大高宽比结构和加工厚度著称,结构高宽比可达100以上,结构厚度可在1毫米以上,是其他任何加工技术所不能够相比的。这一优越的加工能力为在微机械制造中发挥作用,提供了坚实的技术基础。该技术的目标就是制造模具,用于注塑和模压工艺过程中所需要的金属模具。通过对该技术以及北京同步辐射的LIGA技术发展现状和应用的介绍。希望对同仁有所帮助。共同推进该技术在模具制造领域内的应用。
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关 键 词: | 微机械 LIGA技术 微细加工技术 先进模具技术 |
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