扫描电子显微镜 |
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作者姓名: | 刘剑霜 谢锋 吴晓京 陈一 胡刚 |
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作者单位: | 复旦大学材料科学系国家微分析中心 |
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摘 要: | 随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界。细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题。目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米,所有这些更加微小的物体光学显微镜也观察不到,必须使用电子显微镜。电子显微镜可分为扫描电子显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TEM)两大类。
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关 键 词: | 扫描电子显微镜 二次电子 特征x射线 背散射电子 |
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