| LTCC自动光学检测技术研究 |
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| 引用本文： | 张孔,王志勤. LTCC自动光学检测技术研究[J]. 电子工艺技术, 2013, 0(1): 14-17,43 |
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| 作者姓名： | 张孔 王志勤 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团第38研究所,安徽合肥230088 |
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| 基金项目： | 装备预先研究项目(项目编号:51318070119) |
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| 摘 要： | 低温共烧陶瓷(LTCC)技术是一种新型的多层基板工艺技术,其各种孔道和表面印刷图形的品质直接影响着最终产品的电性能和信号传输性能等.从LTCC制备工艺出发,首先介绍了自动光学检测(AOI)的工作流程及原理.试验通过机械冲孔、填孔和丝网印刷线条后获得了LTCC生片,并采用AOI设备对其进行了检测,详细分析了影响AOI检出率的关键因素和各检测缺陷产生的原因,并给出了相应的解决方案.
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| 关 键 词： | 低温共烧陶瓷 自动光学检测 缺陷检测 |
Research of Automatic Optical Inspection on Low Temperature Co-fired Ceramic |
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| ZHANG Kong,WANG Zhi-qin. Research of Automatic Optical Inspection on Low Temperature Co-fired Ceramic[J]. Electronics Process Technology, 2013, 0(1): 14-17,43 |
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| Authors: | ZHANG Kong WANG Zhi-qin |
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| Affiliation: | (The 38th Research Institute of CETC,Hefei 230088,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | LTCC Automatic optical inspection Defect inspection |
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