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| ICF靶丸表面形貌检测系统性能分析 | |
| 作者姓名： | 高党忠 马小军 赵学森 |
| 作者单位： | 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900 |
| 基金项目： | 国家863计划资助项目 |
| 摘 要： | 基于原子力显微镜与精密的气浮轴系,建立了靶丸表面形貌检测系统。对该系统的各项性能指标进行了评定,研究结果表明,系统的随机噪声误差在10nm量级,轴系的回转精度误差功率谱振幅在10^-2量级,与微球轮廓功率谱幅度相差两个量级以上,系统的稳定性较好,波长为几百纳米以上的局部颗粒能够被精确分辨。 |
| 关 键 词： | 原子力显微镜 靶丸表面形貌 模数 功率谱 |
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