| 剪切干涉仪精密相移系统的研制 |
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| 引用本文： | 于长淞,代雷. 剪切干涉仪精密相移系统的研制[J]. 国外电子测量技术, 2014, 33(12) |
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| 作者姓名： | 于长淞 代雷 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心 长春130033 |
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| 摘 要： | 设计了一种用于迈克尔逊干涉仪横向剪切相移测量的精密相移系统。该系统采用压电陶瓷驱动器作为驱动元件,通过柔性铰链平移机构推动反射镜实现无摩擦、无间隙微位移。采用电容传感器进行位移反馈测量,利用单片机系统作为中央处理器进行PID闭环控制以实现高精度相移。对相移系统的行程及定位精度进行了测试,当输入阶跃位移信号为80nm时,相移系统输出位移精度小于3nm。当相移系统连续位移2μm,每步位移为80nm时,其输出位移的定位精度小于5nm。实验结果表明,相移系统的行程与定位精度满足剪切干涉仪设计要求。
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| 关 键 词： | 相移干涉 精密相移系统 压电陶瓷驱动器 柔性铰链 闭环控制 |
Development of precise phase-shift system in the shear interferometer |
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| Yu Changsong,Dai Lei. Development of precise phase-shift system in the shear interferometer[J]. Foreign Electronic Measurement Technology, 2014, 33(12) |
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| Authors: | Yu Changsong Dai Lei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | phase-shifting interferometry precise phase-shift system PZT flexure hinge closed-loop control |
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