| 超大机电耦合系数声波谐振器的研究 |
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| 引用本文： | 张小德,王华磊,李儒章,钟慧,石玉. 超大机电耦合系数声波谐振器的研究[J]. 压电与声光, 2021, 43(3): 328-330 |
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| 作者姓名： | 张小德 王华磊 李儒章 钟慧 石玉 |
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| 作者单位： | （1.电子科技大学 电子科学与工程学院，四川 成都 610054；2.模拟集成电路重点实验室(国家级),重庆 400060） |
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| 基金项目： | 重庆市项目博士后基金资助项目（xm2017042）；四川省科技计划重点研发基金资助项目（2020YFG0041）；四川省科技计划重点研发基金资助项目（2020YFG0042） |
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| 摘 要： | 该文研究了Pb(In1/2Nb1/2)O3 Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 PbTiO3(PIN PMN PT)基片上声表面波（SAW）的传播特性。利用COMSOL软件建立SAW谐振器三维模型并进行模拟仿真。通过优化谐振器参数，设计了一种具有超大机电耦合系数（K2）的谐振器结构。结果表明，当欧拉角为（0°,-70°,0°）时，SH0模态的K2可优化到约85%，且通带内无寄生响应。
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| 关 键 词： | 声表面波(SAW)；PIN PMN PT；COMSOL；SH0模态；机电耦合系数 |
Study on Acoustic Wave Resonator with Ultra Large Electromechanical Coupling Coefficient |
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| ZHANG Xiaode,WANG Hualei,LI Ruzhang,ZHONG Hui,SHI Yu. Study on Acoustic Wave Resonator with Ultra Large Electromechanical Coupling Coefficient[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2021, 43(3): 328-330 |
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| Authors: | ZHANG Xiaode WANG Hualei LI Ruzhang ZHONG Hui SHI Yu |
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| Keywords: | surface acoustic wave(SAW) PIN PMN PT COMSOL SH0 mode electromechanical coupling coefficient |
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