| 压电谐振器数字化闭环驱动电路 |
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| 引用本文： | 黄山,吴校生,曾照丰,熊越夫,赵俊军,冯其云.压电谐振器数字化闭环驱动电路[J].压电与声光,2021,43(3):374-378. |
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| 作者姓名： | 黄山 吴校生 曾照丰 熊越夫 赵俊军 冯其云 |
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| 作者单位： | （上海交通大学 电子信息与电气工程学院 微纳电子学系微纳米加工技术国家级重点实验室，上海 200240） |
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| 基金项目： | 上海市科委平台建设基金资助项目(19DZ2291103) |
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| 摘 要： | 为使微机电系统(MEMS)压电谐振器工作在谐振频率点并使其输出信号幅值稳定，该文采用基于现场可编程门阵列(FPGA)数字化的双闭环控制算法来实现共振频率跟踪和稳幅激励，数字化双闭环控制算法包含锁相闭环算法和稳幅闭环算法；采用模数转换器(ADC)对压电谐振器输出信号采样，使用两路正交信号对被采样信号的相位和幅值解调；采用数字锁相环技术实现了压电谐振器谐振频率的跟踪激励。为减小压电谐振器在谐振处输出信号幅值的波动，采用数字稳幅技术实现了压电谐振器输出信号幅值的稳定控制。实验结果表明，电路能将驱动信号和输出信号相位差锁定在93.89°~95.95°，输出信号的幅值稳定在496~504 mV，达到了很好的谐振频率跟踪和稳幅效果。
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| 关 键 词： | 压电谐振器 现场可编程门阵列(FPGA) 谐振频率跟踪 稳幅 矢量分析 |
Digital Closed Loop Driving Circuit of Piezoelectric Resonator |
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| HUANG Shan,WU Xiaosheng,ZENG Zhaofeng,XIONG Yuefu,ZHAO Junjun,FENG Qiyun.Digital Closed Loop Driving Circuit of Piezoelectric Resonator[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2021,43(3):374-378. |
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| Authors: | HUANG Shan WU Xiaosheng ZENG Zhaofeng XIONG Yuefu ZHAO Junjun FENG Qiyun |
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| Affiliation: | (National Key Laboratory of Science and Technology on Micro/Nano Fabrication Department of Micro/Nano Electronics,Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200240, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectric resonator field programmable gate array(FPGA) resonant frequency tracking amplitude stabilization vector analysis |
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