| 压电微泵一体化自闭环微系统热管理技术研究 |
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| 引用本文： | 余怀强,杜建宇,刘雨陇,陈星,邓立科,张磊,王玮.压电微泵一体化自闭环微系统热管理技术研究[J].压电与声光,2021,43(5):676-679. |
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| 作者姓名： | 余怀强 杜建宇 刘雨陇 陈星 邓立科 张磊 王玮 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆 400060;中国地质大学(北京)工程技术学院,北京 100083 ；北京大学 集成电路学院,北京 100091 |
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| 摘 要： | 近年来,以嵌入式微流体液冷散热技术为代表的主动热管理因其优异的散热性能而被广泛研究。然而,嵌入式微流体液冷散热技术常使用体积较大的外置泵、阀等构成流体回路,以致该技术难以应用于现有的射频微系统。该文提出了一种集成压电微泵阵列的一体化自闭环微系统热管理方法,并完成了该微系统样机的设计与研制。在常温、高温与低温环境下分别对该微系统样机供液流量及散热性能进行了测试。常温测试结果表明,在芯片热流密度为250.9 W/cm2时,芯片表面温升能控制在56 ℃以下,而集成的2×2压电微泵阵列实现了高达57 mL/min的供液流量。该技术可用于解决高功率射频微系统的高效一体化热管理问题。
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| 关 键 词： | 热管理 微系统 压电微泵 热流密度 内嵌微通道 |
Study on Autonomous ClosedLoop Thermal Management Technology for Microsystems Based on Integrated Piezoelectric Micropumps |
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| YU Huaiqiang,DU Jianyu,LIU Yulong,CHEN Xing,DENG Like,ZHANG Lei,WANG Wei.Study on Autonomous ClosedLoop Thermal Management Technology for Microsystems Based on Integrated Piezoelectric Micropumps[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2021,43(5):676-679. |
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| Authors: | YU Huaiqiang DU Jianyu LIU Yulong CHEN Xing DENG Like ZHANG Lei WANG Wei |
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