Parylene封装对MEMS声学传感器性能的影响研究 |
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引用本文: | 吴鹏程,曾怀望,李鑫,安兴,朱鑫,易拥洁,黄湘俊,邸啸.Parylene封装对MEMS声学传感器性能的影响研究[J].压电与声光,2022,44(3):435-440. |
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作者姓名: | 吴鹏程 曾怀望 李鑫 安兴 朱鑫 易拥洁 黄湘俊 邸啸 |
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作者单位: | 联合微电子中心有限责任公司,重庆 401332 |
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摘 要: | 该文通过有限元仿真获得微机电系统(MEMS)声学传感器在Parylene-C封装前后的灵敏度变化,并以集总参数等效电路模型推导出器件的接收灵敏度与电压激励下薄膜振幅的转换系数Krt,从而探究了Parylene-C封装对器件功能的影响。测试结果显示,器件的接收灵敏度和振幅均值在封装后分別降至原有的42%和48%,两者降幅相近,这表明封装前后Krt不变,因此,通过测量谐振振幅可评估器件灵敏度的变化。采用此方法对同一批器件进行快速筛选,可提高效率;同时仿真得到封装后的灵敏度降至55%,与振幅测试结果相近,二者相互印证。
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关 键 词: | Parylene-C封装 掺钪氮化铝 接收发射转换系数 振动幅值 接收灵敏度 仿真 |
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