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| 基于COMSOL的声表面波器件二维等效模型设计 | |
| 作者姓名： | 王巍 周杨春 王方 谭纪伟 滕洪菠 王华东 |
| 作者单位： | 重庆邮电大学 微电子工程重点实验室,重庆 400065 |
| 基金项目： | 重庆市科技局科技重大专项基金资助项目(cstc2018jszxcyztzxX0054)；重庆市教委基金资助项目(KJQN201800628) |
| 摘 要： | 利用COMSOL软件建立了声表面波(SAW)单端口谐振器和双端口滤波器的二维等效模型,基于有限元法通过该模型计算了完整的SAW谐振器和梯形滤波器结构的导纳和频率响应特性,并将该结果与通过COM耦合模型模拟的结果进行对比。结果表明,基于有限元法利用二维等效模型模拟SAW器件性能是可行的。同时研究了电极电阻和传播损耗对谐振器导纳的影响,为进一步研究SAW器件特性提供了理论依据。 |
| 关 键 词： | 声表面波(SAW)谐振器；梯形滤波器；二维等效模型；有限元法；COM耦合参数 |
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