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谐振式隧穿磁强计的理论研究
引用本文:汤学华,尤政,杨建中.谐振式隧穿磁强计的理论研究[J].微纳电子技术,2003(8).
作者姓名:汤学华  尤政  杨建中
摘    要:分析了隧道扫描显微镜和隧穿磁强计的区别,认为隧穿磁强计的隧尖不需要也不应该过尖.研究了隧道间隙和隧道电流的关系.研究表明,虽然按照隧道效应理论,隧道间隙和隧道电流应该成指数关系,但对隧穿磁强计而言,其隧道电流和隧道间隙的关系可以近似看作线性关系.推导了谐振式隧穿磁强计的灵敏度计算公式.

关 键 词:隧穿  磁强计  隧道间隙  灵敏度
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