| 真空蒸发镀膜设备性能的改进 |
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| 引用本文： | 陈素君,陈月增.真空蒸发镀膜设备性能的改进[J].真空,2008,45(6). |
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| 作者姓名： | 陈素君 陈月增 |
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| 摘 要： | 为提高镀膜设备的效率及可靠性,以适就应技术发展需要,对真空镀膜设备的设计制造(重点是箱式前开门型设备)方面,对镀膜审的布局,基片装载量及真空系统的配置和电气控制等方面进行了适当的改进,提高挡次.并尽可能留有增加可选配功能部件的装配位置,如光学膜厚测量控制装置和石英晶体膜厚测量控制仪,低能宽束离子源,氩离子射频轰击装置等改进膜层质量,扩大功能适应各种使用要求.
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| 关 键 词： | 真空蒸发镀膜设备 真空性能 装载量 自动控制 多功能 |
Performance improvement of vacuum evoporation coater |
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| CHEN Su-jun,CHEN Yue-zeng.Performance improvement of vacuum evoporation coater[J].Vacuum,2008,45(6). |
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| Authors: | CHEN Su-jun CHEN Yue-zeng |
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