| 一种新型玻璃基底可用于微陀螺的反磁悬浮结构的设计与制造 |
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| 引用本文： | 戴福彦,张卫平,刘武,陈文元,刘凯,张忠榕. 一种新型玻璃基底可用于微陀螺的反磁悬浮结构的设计与制造[J]. 传感技术学报, 2010, 23(1): 68-73. DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.01.015 |
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| 作者姓名： | 戴福彦 张卫平 刘武 陈文元 刘凯 张忠榕 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳米科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳米科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳米科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳米科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳米科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳米科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,上海,200030 |
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| 基金项目： | 武器设备预研基金资助(9140A09020706JW0314);;国家自然科学基金资助(60402003) |
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| 摘 要： | 主要介绍了反磁悬浮系统的悬浮和稳定的原理以及用作惯性传感器的原理。研究了对反磁悬浮微器件理论。使用ANSOFT的MAXWELL3D有限元软件包分析了反磁转子悬浮微器件的悬浮问题,对于转子的悬浮、稳定和旋转进行了系统的仿真分析,包括受力分析与位移分析。对反磁悬浮微器件的制作工艺进行了研究。对反磁悬浮器件进行了相关实验。
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| 关 键 词： | 反磁悬浮 微陀螺 微机电系统 玻璃基底 |
The Design and Manufacture of A New Type Glass-substrated Device with Diamagnetic Levitation Rotor for Inertial Sensor |
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| DAI Fuyan,LIU Wu,ZHANG Weiping,CHEN Wenyuan,LIU Kai,ZHANG Zhongrong. The Design and Manufacture of A New Type Glass-substrated Device with Diamagnetic Levitation Rotor for Inertial Sensor[J]. Journal of Transduction Technology, 2010, 23(1): 68-73. DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.01.015 |
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| Authors: | DAI Fuyan LIU Wu ZHANG Weiping CHEN Wenyuan LIU Kai ZHANG Zhongrong |
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| Affiliation: | National Key Laboratory of Nano/Micro Fabrication Technology;Key Laboratory for Thin Film and Microfabrication of Ministry of Education;Institute of Micronanometer Science and Technology Shanghai Jiaotong University;Shanghai 200030;China |
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| Abstract: | The principle of the stable levitation of rotor in the diamagnetic levitation micro device and it's using as inertial sensor,dynamic analysis are described in this paper.Contents include:(1)The principle of the stable levitation of rotor in the diamagnetic levitation micro device is presented.Analyses of the diamagnetic levitation system for the permanent magnet rotor tooth profile of tatic mechanics study show the stability under the structural parameters of the suspension permanent.(2)Using the MAXWELL 3D... |
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| Keywords: | diamagnetic levitation micromotor MEMS Glass-substrated |
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