| 电阻应变式压力传感器的研究 |
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| 引用本文： | 乔学光,李婷,王宏亮,贾振安,刘钦朋,王向宇. 电阻应变式压力传感器的研究[J]. 传感器世界, 2006, 12(11): 11-13 |
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| 作者姓名： | 乔学光 李婷 王宏亮 贾振安 刘钦朋 王向宇 |
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| 作者单位： | 西安石油大学,710065;西安石油大学,710065;西安石油大学,710065;西安石油大学,710065;西安石油大学,710065;西安石油大学,710065 |
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| 基金项目： | 陕西省教育厅资助项目 , 陕西省西安市科技局科技计划 , 中国石油天然气集团公司资助项目 |
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| 摘 要： | 电阻应变式传感器在实际工程中应用较广,本文提出了一种基于单晶硅材料的柱式电阻应变式压力传感器,实验中,将应变片分别轴向、环向和斜45°粘在弹性元件上,应变灵敏度分别为0.0063με/MPa、0.0141με/MPa和0.0095με/MPa,实验表明此种材料的电阻应变式压力传感器的不仅线性好达到0.99而且重复性和稳定性也非常好,有好的实际应用前景.
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| 关 键 词： | 应变式压力传感器 单晶硅 电阻应变片 |
| 文章编号： | 1006-883X（2006）11-00011-0003 |
Study On The Resistance-Strain-Gage Pressure Sensor |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | strain-gage pressure sensor single crystal silicon substructure material resistance strain gage |
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