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| 模具表面改性新技术--金属用离子注入 | |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | 早在１９５２年，美国贝尔实验室已经开始研究用离子束轰击技术来改善半导体特性，六十年代，半导体器件生产的水平进一步提高，迫切要求寻找新的方法研制一些特殊用途的新型器件，于是兴起了离子注入技术。近２０年来，在微处理机和计算机存储器的集成电路基片生产中，离子注入已经是半导体材料的一种标准掺杂方法，离子注入方法的可靠性、可控性和重复性使得这项工艺成为半导体工业的支柱。在２０世纪６０年代中期，英国科学家探索了离子束对金属的作用。他们早期的努力集中于离子注入技术对金属材料的摩擦和显微硬度的影响，但不久就转向… |
| 关 键 词： | 模具 表面改性 离子注入 表面处理 |
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