电子束加热时Fe—Dy多层膜的稳定性 |
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作者姓名: | 李胜利 阎风章 |
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摘 要: | 用真空双源蒸镀法在NaCl单晶衬底上制备了金属Fe-Dy(镝)多层膜,用透射电镜(TEM)分析结构。结果表明,当Fe单层厚度≥2.4nm时,Fe为bcc结构,无明显择尤取向特征;Dy单层厚度<2.4nm时,Dy为非晶态,在透射电镜样品台上经100KV加速的高强度电子束流加热多层膜,非晶Dy首先晶化变为hcp结构,随加热时间的延长,晶粒长大。150S时Fe晶粒尺寸约300nm,此时出现了铁镝氧化物。
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关 键 词: | 铁镝多层膜 电子束加热 显微结构 |
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