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| TiO_2SnO_2系新型湿敏元件的研制 | |
| 作者姓名： | 李云鹏 肖森荣 孙承松 周立军 |
| 作者单位： | 沈阳工业大学，沈阳工业大学，沈阳工业大学，沈阳工业大学 |
| 摘 要： | 本文提出了一种新型TiO_2-SnO_2系湿敏元件.文中介绍了该器件的主要结构工艺,对感湿机理进行了探讨,并研究其特性.研究结果表明,这种湿敏器件具有良好的湿敏特性,制造工艺简单、成本低等特点. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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