| 纳米晶SnO2气敏薄膜的制备与表征 |
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| 引用本文： | 索辉 向思清. 纳米晶SnO2气敏薄膜的制备与表征[J]. 半导体学报, 2000, 21(8): 774-777 |
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| 作者姓名： | 索辉 向思清 |
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| 作者单位： | 索辉（吉林大学电子工程系集成光电子国家重点联合实验室吉林大学分区，长春130023）;索辉（吉林大学超硬材料国家重点实验室，长春 130023）;向思清（吉林大学电子工程系集成光电子国家重点联合实验室吉林大学分区，长春130023）;朱玉梅（吉林大学电子工程系集成光电子国家重点联合实验室吉林大学分区，长春130023）;阮圣平（吉林大学电子工程系集成光电子国家重点联合实验室吉林大学分区，长春130023）;张彤（吉林大学电子工程系集成光电子国家重点联合实验室吉林大学分区，长春130023） |
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| 基金项目： | 国家自然基金资助项目(编号为69774027)[ProjectSupported by National Natural Science Foundation of China Under Grant No．69774027]. |
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| 摘 要： | 以Ｓｎ（ＯＨ）４水合胶体为原料，采用溶胶－凝胶方法在Ｓｉ片上制备了ＳｎＯ２纳米晶薄膜，利用差热、热重、Ｘ光衍射以及原子力显微镜对薄膜的合成以及特性进行了分析，结果表明：在６００℃条件下烧结结晶的纳米晶薄膜表面平整，具有金红石结构，平均粒度在１０ｎｍ左右。以该薄膜为敏感体采用平面工艺制成的ＦＥＴ式气敏元件在常温下对乙醇蒸汽具有非常好的选择性。
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| 关 键 词： | 纳米晶 二氧化锡 气敏薄膜 |
| 文章编号： | 0253-4177(2000)08-0774-04 |
| 修稿时间： | 1999-04-15 |
Preparation and Characterization of Nanocrystalline SnO2 Thin Film |
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| SUO Hui SUO Hui Null ,RUAN Sheng-ping ,ZHANG Tong. Preparation and Characterization of Nanocrystalline SnO2 Thin Film[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2000, 21(8): 774-777 |
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| Authors: | SUO Hui SUO Hui Null RUAN Sheng-ping ZHANG Tong |
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| Affiliation: | SUO Hui ;(State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics, Jiling University Region ,Departmentof Electronic Engineering, Jiling University, Changchun 130023, China);SUO Hui Null ,RUAN Sheng-ping ,ZHANG Tong ;(State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics, Jiling University Region ,Departmentof Electronic Engineering, Jiling University, Changchun 130023, China) |
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