| 低串扰平顶型刻蚀衍射光栅解复用器的设计 |
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| 引用本文： | 宋军,石志敏,何赛灵.低串扰平顶型刻蚀衍射光栅解复用器的设计[J].半导体学报,2004,25(2). |
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| 作者姓名： | 宋军 石志敏 何赛灵 |
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| 作者单位： | 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,光及电磁波研究中心,杭州,310027 |
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| 摘 要： | 介绍了一种低串扰、频谱响应平坦化的刻蚀衍射光栅(EDG)解复用器的机理与设计方法,设计带有预整形输入的优化的多模干涉(MMI)结构.该设计采用了广角束传播方法(BPM)、基耳霍夫衍射理论以及模式传输理论等方法.给出一个优化的预整形渐变波导结构,以获得更陡的输出场边缘,使用MMI结构,获得了平坦的频谱响应,设计结构还获得了相对较低的色散值.
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| 关 键 词： | 刻蚀衍射光栅 频谱平坦化 串扰 色散 |
A Pre-Shaped MMI Input Structure in Etched Diffraction Grating for Flat-Top Spectral Response with Low Crosstalk |
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