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| 一种能满足MEMS微梁固支边界条件的锚 | |
| 引用本文： | 戎华,黄庆安,聂萌,李伟华. 一种能满足MEMS微梁固支边界条件的锚[J]. 半导体学报, 2004, 25(6) |
| 作者姓名： | 戎华 黄庆安 聂萌 李伟华 |
| 作者单位： | 1. 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 2. 合肥工业大学理学院,合肥,230009 |
| 摘 要： | 在MEMS领域,微梁广泛应用于各种器件及材料参数的提取中,但是由表面微加工工艺制成的单层台阶型锚,往往不能使微梁满足理想固支的边界条件,从而给器件设计和材料参数的提取带来较大的误差.为了解决这一问题,文中提出了一种结构新颖的锚,经Coventorwear软件模拟表明,该锚能提供接近理想固支的边界条件. |
| 关 键 词： | 表面微加工 固支边界条件 锚 版图 |
A Novel Anchor for Microbeam with Perfect Fixed-End Boundary Conditions |
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