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| 一种用于标准单元版图交替移相掩模相位兼容性规则检查的工具 | |
| 引用本文： | 高根生,史峥,陈晔,严晓浪. 一种用于标准单元版图交替移相掩模相位兼容性规则检查的工具[J]. 半导体学报, 2004, 25(5) |
| 作者姓名： | 高根生 史峥 陈晔 严晓浪 |
| 作者单位： | 浙江大学超大规模集成电路设计研究所,杭州,310027 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划) |
| 摘 要： | 介绍了一套基于相位冲突图的生成和处理的新方法,可以准确、全面地对由传统方法设计的标准单元版图(暗场)进行检查.基于此方法的软件工具能够检查标准单元版图,找出不符合交替移相掩模设计要求的图形,并给出相关的修改建议.实验结果证实了该工具的有效性. |
| 关 键 词： | 交替移相掩模 相位冲突图 标准单元 |
A Phase-Compatibility Rule Checker for Standard Cell Layout Designed with Alternating PSM |
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