| 基于InP/空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器 |
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| 引用本文： | 黄辉,王兴妍,王琦,黄永清,任晓敏,高俊华,张胜利,刘宇,祝宁华,马骁宇,杨晓红,吴荣汉.基于InP/空气隙布拉格反射镜的长波长谐振腔光电探测器[J].半导体学报,2004,25(2). |
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| 作者姓名： | 黄辉 王兴妍 王琦 黄永清 任晓敏 高俊华 张胜利 刘宇 祝宁华 马骁宇 杨晓红 吴荣汉 |
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| 作者单位： | 1. 北京邮电大学光通信中心,北京,100876
2. 中国科学院半导体研究所,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 报道了一种长波长的InP基谐振腔(RCE)光电探测器.采用选择性湿法刻蚀,制备出基于InP/空气隙的分布布拉格反射镜,并将该结构的反射镜引入RCE光电探测器.制备的器件在波长1.510μm处获得了约59%的峰值量子效率,以及8GHz的3dB响应带宽,其中器件的台面面积为50μm×50μm.
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| 关 键 词： | 谐振腔增强型光电探测器 长波长 空气隙 选择性湿法刻蚀 |
Long Wavelength Resonant Cavity Photodetectors with InP/Air-Gap Bragg Mirrors |
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